激光具有高強(qiáng)度、高度方向性、空間同調(diào)性、窄帶寬和高度單色性等優(yōu)點(diǎn)。目前常用來(lái)測(cè)量長(zhǎng)度的干涉儀，激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來(lái)作線性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等測(cè)量工作，并可作為精密工具機(jī)或測(cè)量?jī)x器的校正工作。
一激光干涉儀的組成部分
激光干涉儀包括：激光光源，邁克爾遜型或其他形式的干涉光學(xué)系統(tǒng)，光電轉(zhuǎn)換器件為fc的信號(hào)接收系統(tǒng)，可逆計(jì)數(shù)器、顯示記錄裝置組成的信號(hào)處理系統(tǒng)，以及可移動(dòng)平臺(tái)、光電顯微鏡組成的運(yùn)動(dòng)與對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)等部件。
1.光源
激光光源與普通光源相比具有很大優(yōu)勢(shì)，激光是靠介質(zhì)內(nèi)的受激輻射向外發(fā)出大量的光F而形成的，具有高單色性、高亮度的特點(diǎn)。良好的單色性可使其相干距離達(dá)到幾十公里，&大增加了可測(cè)的長(zhǎng)度范圍；ji高的亮度使接收器產(chǎn)生較強(qiáng)的光電信號(hào)，提高計(jì)數(shù)速度，縮S測(cè)量時(shí)間。穩(wěn)定連續(xù)的激光使干涉儀的測(cè)量精度達(dá)到了的高度。
2.干涉光學(xué)系統(tǒng)
邁克爾遜型干涉光學(xué)系統(tǒng)是激光干涉測(cè)量系統(tǒng)的核心部分，根據(jù)需求，其分光元件.交吃元件及總體布局有多種形式。
3.運(yùn)動(dòng)與對(duì)準(zhǔn)、信號(hào)接收與處理系統(tǒng)
可移動(dòng)平臺(tái)與邁克爾遜干涉儀的測(cè)量鏡相連，平臺(tái)移動(dòng)時(shí)，光束2的光程發(fā)生變化從而使干涉儀條紋發(fā)生周期性變化。光電顯微鏡是一固定部件，用于對(duì)準(zhǔn)待測(cè)物體，隨著平臺(tái)移動(dòng)給出起始與終止信號(hào)，傳入顯示記錄裝置，幫助處理測(cè)量結(jié)果，其瞄準(zhǔn)精度對(duì)整個(gè)儀器的測(cè)量精度有很大影響。
二、激光干涉儀分類
激光干涉儀在氦氖激光器上，加上一個(gè)約0.03特斯拉的軸向磁場(chǎng)。由于塞曼分裂效應(yīng)和頻率牽引效應(yīng), 激光器產(chǎn)生1和2兩個(gè)不同頻率的左旋和右旋圓偏振光。經(jīng)1/4波片后成為兩個(gè)互相垂直的線偏振光,再經(jīng)分光鏡分為兩路。一路經(jīng)偏振片1后成為含有頻率為f1-f2的參考光束。另一路經(jīng)偏振分光鏡后又分為兩路：一路成為僅含有f1的光束,另一路成為僅含有f2的光束。當(dāng)可動(dòng)反射鏡移動(dòng)時(shí),含有f2的光束經(jīng)可動(dòng)反射鏡反射后成為含有f2 ±Δf的光束，Δf是可動(dòng)反射鏡移動(dòng)時(shí)因多普勒效應(yīng)產(chǎn)生的附加頻率,正負(fù)號(hào)表示移動(dòng)方向(多普勒效應(yīng)是奧地利人C.J.多普勒提出的，即波的頻率在波源或接受器運(yùn)動(dòng)時(shí)會(huì)產(chǎn)生變化)。這路光束和由固定反射鏡反射回來(lái)僅含有f1的光的光束經(jīng)偏振片2后會(huì)合成為f1-(f2±Δf）的測(cè)量光束。測(cè)量光束和上述參考光束經(jīng)各自的光電轉(zhuǎn)換元件、放大器、整形器后進(jìn)入減法器相減,輸出成為僅含有±Δf的電脈沖信號(hào)。經(jīng)可逆計(jì)數(shù)器計(jì)數(shù)后，由電子計(jì)算機(jī)進(jìn)行當(dāng)量換算（乘 1/2激光波長(zhǎng)）后即可得出可動(dòng)反射鏡的位移量。雙頻激光干涉儀是應(yīng)用頻率變化來(lái)測(cè)量位移的，這種位移信息載于f1和f2的頻差上，對(duì)由光強(qiáng)變化引起的直流電平變化不敏感，所以抗干擾能力強(qiáng)。它常用于檢定測(cè)長(zhǎng)機(jī)、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)、光刻機(jī)和加工中心等的坐標(biāo)精度，也可用作測(cè)長(zhǎng)機(jī)、高精度三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等的測(cè)量系統(tǒng)。利用相應(yīng)附件，還可進(jìn)行高精度直線度測(cè)量、平面度測(cè)量和小角度測(cè)量。
三、激光干涉儀產(chǎn)品功能特點(diǎn)
可實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測(cè)量；
可檢測(cè)數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等，以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等；
可實(shí)現(xiàn)對(duì)機(jī)床回轉(zhuǎn)軸的測(cè)量與校準(zhǔn)；
可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動(dòng)生成誤差補(bǔ)償表，為設(shè)備誤差修正提供依據(jù)；
具有動(dòng)態(tài)測(cè)量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進(jìn)行振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等；
支持手動(dòng)或自動(dòng)進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償。
四、激光干涉儀應(yīng)用：
組裝機(jī)床高校、機(jī)床直線度測(cè)量、機(jī)床測(cè)量、數(shù)據(jù)機(jī)床校準(zhǔn)、機(jī)床回轉(zhuǎn)軸測(cè)量、龍門(mén)加工中心測(cè)量、激光切割機(jī)測(cè)量、自動(dòng)化設(shè)備測(cè)量、長(zhǎng)導(dǎo)軌測(cè)量、加工中心回轉(zhuǎn)軸測(cè)量、測(cè)量機(jī)床傾斜軸線測(cè)量
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